KD系列氣浮導軌
KD系列氣浮導軌,具備高精度、高剛度、大承載、非接觸、無摩擦、高速度、運動可靠、無振動的優點,主要應用于精密測量設備、無摩擦運動試驗設備、空間模擬試驗裝置、半導體加工設備、多軸氣浮平臺等高精度無振動場合;可根據客戶技術要求定制非標產品。
技術參數
項目 |
技術規格 |
行程 |
≦2000mm |
最大承載 |
500kg |
最大剛度 |
300N/um |
運動精度 |
≦0.5um/100mm |
供氣壓力 |
0.4—0.8Mpa |
工作氣壓 |
0.35—0.45 Mpa |
定軌材料 |
花崗巖 |
環境溫度 |
-20—50℃ |
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